潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的能耗遠大于一般的舒適性空調(diào)。隨著凈化水平的提高，潔凈室的空調(diào)能耗也急劇增加。潔凈室空調(diào)系統(tǒng)主要能耗: (1)為了維持潔凈室所需的溫度和相對濕度，有必要對m線進行必要的熱濕處理(冷卻、除濕、加熱、加濕...)到潔凈室，所以需要向空調(diào)凈化系統(tǒng)和蒸汽供應(yīng)制冷和制熱，消耗大量能源。 (2)為了保證潔凈室的潔凈度、溫度、濕度等參數(shù)，必須將大量的空氣送入潔凈室，送風(fēng)的風(fēng)機、供水的水泵等動力設(shè)備也消耗了相當(dāng)大的能量。 (3)上述供冷、供熱、供汽所消耗的能源和送風(fēng)、供水設(shè)備所消耗的電力。 (4)潔凈室冷負荷的主要負荷是新風(fēng)冷負荷，它消除了工藝設(shè)備和工藝產(chǎn)生的冷負荷，抵消了風(fēng)機和水泵產(chǎn)生的冷負荷，而圍護結(jié)構(gòu)、照明和操作人員三者的冷負荷相對較小，有數(shù)據(jù)顯示其負荷不到高級別潔凈車間總冷負荷的10%。

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風(fēng)量大。不同凈化級別的潔凈室的風(fēng)量是同面積舒適空調(diào)的1.5倍。55倍，送風(fēng)壓力也是2-3倍，所以鼓風(fēng)機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)新風(fēng)量大。一般情況下，新風(fēng)量等于排風(fēng)量和正壓漏風(fēng)量之和，所以生產(chǎn)過程排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量大。因此，新風(fēng)的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設(shè)備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。