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 MFC氣體流量計(jì)做為半導(dǎo)體零部件在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到了半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求，半導(dǎo)體設(shè)備由成千上萬的零部件組成，零部件的性能、質(zhì)量和精度直接決定著設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國在半導(dǎo)體制造能力上向高端化躍升的關(guān)鍵基礎(chǔ)要素。
 MFC氣體流量計(jì)具有高技術(shù)密集、學(xué)科交叉融合、市場規(guī)模占比小且分散，但在價(jià)值鏈上卻舉足輕重等特點(diǎn)。LF系列MFC氣體流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
 MFC氣體流量計(jì)準(zhǔn)確可靠的測量氣體質(zhì)量流量，測量精度高、零飄小，測量范圍寬，測量的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域.